SETO 1.60 Soczewka fotochromowa SHMC

1) Co to jest powlekanie wirowe?

Powlekanie wirowe to procedura stosowana do osadzania jednolitych cienkich warstw na płaskich podłożach.Zwykle niewielką ilość materiału powłokowego nakłada się na środek podłoża, które albo wiruje z małą prędkością, albo nie wiruje wcale.Następnie podłoże obraca się z prędkością do 10 000 obr/min, aby rozprowadzić materiał powłokowy za pomocą siły odśrodkowej.Maszyna używana do powlekania wirowego nazywa się powlekarką wirową lub po prostu przędzarką.
Obracanie jest kontynuowane, podczas gdy płyn spływa z krawędzi podłoża, aż do uzyskania pożądanej grubości folii.Zastosowany rozpuszczalnik jest zwykle lotny i jednocześnie odparowuje.Im większa prędkość kątowa wirowania, tym cieńsza folia.Grubość folii zależy również od lepkości i stężenia roztworu oraz rozpuszczalnika.[2]Pionierską analizę teoretyczną powlekania wirowego przeprowadzili Emslie i in. i została rozszerzona przez wielu kolejnych autorów (w tym Wilsona i in., [4], który badał szybkość rozprzestrzeniania się w powlekaniu wirowym; oraz Danglad-Flores i in., [5], który znalazł uniwersalny opis pozwalający przewidzieć grubość osadzanej warstwy).
Powłoka wirowa jest szeroko stosowana w mikrofabrykacji funkcjonalnych warstw tlenku na podłożach szklanych lub monokrystalicznych przy użyciu prekursorów zol-żel, gdzie można ją zastosować do tworzenia jednolitych cienkich warstw o ​​grubości w nanoskali.Jest intensywnie stosowany w fotolitografii do osadzania warstw fotorezystu o grubości około 1 mikrometra.Fotomaskę zazwyczaj wiruje się z prędkością od 20 do 80 obrotów na sekundę przez 30 do 60 sekund.Jest również szeroko stosowany do wytwarzania płaskich struktur fotonicznych wykonanych z polimerów.
Jedną z zalet powlekania wirowego cienkich folii jest jednolitość grubości warstwy.Dzięki samopoziomowaniu różnice grubości nie przekraczają 1%.Jednakże powlekanie wirowe grubszych warstw polimerów i fotomasek może skutkować powstaniem stosunkowo dużych perełek krawędziowych, których planaryzacja ma fizyczne ograniczenia.